引言

        壓力變送器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成氣動(dòng)信號(hào)或電動(dòng)信號(hào)進(jìn)行控制和遠(yuǎn)傳的設(shè)備。它能感受壓力并將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)榭蓚魉偷臉?biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)，如 4 ~ 20 mA 電流信號(hào)或 1~5 V 電壓信號(hào)。壓力變送器因其具有工作可靠、準(zhǔn)確度等級(jí)高、性能穩(wěn)定、抗干擾能力強(qiáng)和測(cè)量信號(hào)傳輸距離遠(yuǎn)等優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)得到了廣泛的使用。壓力變送器根據(jù)壓力類型可以分為表壓變送器、差壓變送器和絕壓變送器。

 

        表壓力是指高于大氣壓的覺對(duì)壓力與大氣壓之差，或者相對(duì)將大氣壓作為零壓力就稱為表壓力。一般壓力儀表，若無特殊裝置，其零點(diǎn)壓力實(shí)際就是當(dāng)時(shí)的大氣壓，表壓力常用 pg 表示。差壓是指兩個(gè)壓力之間的差值，或者是以大氣壓力以外的任意壓力作為零點(diǎn)所表示的壓力，用 pd表示。

 

        覺對(duì)壓力（簡(jiǎn)稱絕壓）是相對(duì)于覺對(duì)真空所測(cè)得的壓力，即從完全的零壓力開始所測(cè)得的壓力。它是液體、氣體或蒸汽所處空間的全部壓力，也叫不帶條件起算的全壓力。一般用 pa 或者 abs 表示覺對(duì)壓力。

 

        從結(jié)構(gòu)上來說，表壓和差壓變送器的低壓室膜片直接與大氣接觸，處于大氣壓環(huán)境時(shí)即為其壓力零點(diǎn)。輸出信號(hào)為 4~20 mA 的表壓或差壓變送器在大氣壓環(huán)境中的理論輸出電流值（簡(jiǎn)稱理論輸出值）為 4 mA。該類變送器在校準(zhǔn)過程中若出現(xiàn)零點(diǎn)漂移現(xiàn)象，可利用調(diào)整工具在大氣壓環(huán)境下直接對(duì)其進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整。對(duì)于輸出信號(hào)為 4~20 mA 的絕壓變送器，其在真空狀態(tài)下的理論輸出值才為 4 mA，而現(xiàn)實(shí)條件下完全真空是不可能實(shí)現(xiàn)的。因此，在實(shí)際校準(zhǔn)過程中對(duì)絕壓變送器進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整時(shí)，應(yīng)該考慮系統(tǒng)真空度對(duì)其零點(diǎn)產(chǎn)生的影響。

 

1　絕壓變送器的零位漂移

        在分析歷年來客戶送檢變送器的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)時(shí)發(fā)現(xiàn)，相對(duì)于表壓與差壓變送器，絕壓變送器更容易產(chǎn)生零點(diǎn)漂移，有的甚至在周期檢定時(shí)輸出值已嚴(yán)重超差。例如，分析某核電公司每年周期送檢的大量 ROSEMOUNT 的 3051 系列變送器數(shù)據(jù)時(shí)發(fā)現(xiàn)，對(duì)于該系列的表壓和差壓變送器，其周期穩(wěn)定性較好，零位漂移較小，測(cè)量誤差與回程誤差均在允許范圍內(nèi)；而反觀該系列的絕壓變送器，往往零位漂移嚴(yán)重，偏差較大。分析其原因，主要有以下幾點(diǎn)：

 

        1）測(cè)量原理與結(jié)構(gòu)方面，3051 系列的壓力變送器工作時(shí)，介質(zhì)壓力通過變送器高、低側(cè)的隔離膜片和灌充油傳遞到 δ 室中心的測(cè)量膜片，該測(cè)量膜片是一張緊的彈性元件，用于檢測(cè)作用在測(cè)量膜片上的差壓。測(cè)量膜片的位移與差壓成正比。測(cè)量膜片的位置由它兩側(cè)的電容固定極板通過直接數(shù)字電容電路檢測(cè)出來，如圖 1 所示。

 

        對(duì)于表壓和差壓變送器，大氣壓如同時(shí)施壓在傳感膜片的低壓側(cè)，在高壓側(cè)無壓力作用下，膜片兩端為對(duì)稱結(jié)構(gòu)，容易實(shí)現(xiàn)壓力平衡。但是，對(duì)于絕壓變送器，其低壓側(cè)始終保持一個(gè)參考?jí)毫Γ�即高真空基�?zhǔn)室），這樣傳感器膜片兩端為非對(duì)稱結(jié)構(gòu)，也就是無論參考腔體漏氣還是材料變形等因素均會(huì)導(dǎo)致零位變動(dòng)，即發(fā)生零位漂移。

2）使用現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境影響

        絕壓變送器的穩(wěn)定性受溫度影響較大。例如，核工廠內(nèi)的冷卻水管道上使用的變送器，往往接觸介質(zhì)的溫度可達(dá) 100 ℃。當(dāng)這些絕壓變送器在高溫、真空狀態(tài)下工作時(shí)，腔體內(nèi)的隔離膜片因真空而外鼓，于是密封系統(tǒng)內(nèi)的壓力降低，填充液黏度隨著下降，從而導(dǎo)致硅油的揮發(fā)性增強(qiáng)，沸點(diǎn)降低，熱膨脹性增強(qiáng)，出現(xiàn)硅油部分氣化、體積膨脹，使隔離膜片變形，進(jìn)而產(chǎn)生零位漂移。而當(dāng)這些儀表送進(jìn)計(jì)量實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行周期檢定時(shí)，應(yīng)在 JJG 882-2004《壓力變送器》檢定規(guī)程中規(guī)定的環(huán)境條件進(jìn)行計(jì)量檢定，并應(yīng)按照檢定規(guī)程的要求對(duì)變送器的零點(diǎn)進(jìn)行調(diào)整。

 

3）使用人員的錯(cuò)誤調(diào)整

        本院每年都會(huì)接收到數(shù)百臺(tái)送檢的絕壓變送器，其中，有些企業(yè)的一批量絕壓變送器均出現(xiàn)示值超差現(xiàn)象，究其原因發(fā)現(xiàn)，該企業(yè)儀表檢修人員在檢修絕壓變送器時(shí)常常會(huì)發(fā)生調(diào)整錯(cuò)誤。例如，某單位送檢的一批 3051 系列 10 MPa 量程、4~20 mA 輸出的絕壓變送器，其在“真空狀態(tài)”（即計(jì)量設(shè)備所能達(dá)到的#大真空度）下的實(shí)際輸出電流值（簡(jiǎn)稱“實(shí)際輸出值”）均比理論輸出值小。分析原因發(fā)現(xiàn)，10 MPa 量程的絕壓變送器在大氣壓環(huán)境下（標(biāo)準(zhǔn)大氣壓為 101.321 kPa）的理論輸出值為 4.162 mA，接近于 4 mA，這時(shí)，很多檢修人員會(huì)誤把這批變送器當(dāng)作表壓變送器處理，在大氣壓環(huán)境下直接對(duì)其進(jìn)行清零操作而導(dǎo)致這些變送器在“真空狀態(tài)”的實(shí)際輸出值會(huì)低于理論輸出值。相對(duì)“零點(diǎn)”調(diào)整的誤操作，有些企業(yè)常常會(huì)對(duì)絕壓變送器的滿量程進(jìn)行錯(cuò)誤調(diào)整。例如，量程為 0~100 kPa、4~20 mA 輸出的絕壓變送器，其在 100 kPa 絕壓下的理論輸出值應(yīng)為 20 mA，若在當(dāng)?shù)卮髿鈮簽?102 kPa 時(shí)，其理論輸出電流應(yīng)為 20.32 mA。當(dāng)檢修人員發(fā)現(xiàn)這些變送器的輸出電流高于 20 mA 時(shí)，會(huì)誤在大氣壓狀態(tài)下對(duì)該表進(jìn)行滿量程電流調(diào)整，致使該變送器量程擴(kuò)大，也對(duì)其零位電流產(chǎn)生了影響。

 

2　絕壓變送器校準(zhǔn)過程中的零點(diǎn)調(diào)整

        目前，對(duì)絕壓變送器采用壓力控制器配合機(jī)械泵的方法進(jìn)行檢定與校準(zhǔn)，見圖 2 所示。

        采 用 FLUKE PPC4 壓 力 控 制 器 作 為 壓 力 標(biāo) 準(zhǔn)器，其量程為 0~110 kPa，#大允許誤差為 ±0.01%。機(jī)械泵采用 EDWARDS 的 RV5 系列，極限壓力為 3 Pa。在使用該套設(shè)備對(duì)絕壓變送器進(jìn)行檢定和校準(zhǔn)時(shí)發(fā)現(xiàn)，由于各連接管路線路較長(zhǎng)且無法實(shí)現(xiàn)線路的完全密封，實(shí)際使用過程中系統(tǒng)極限壓力僅能穩(wěn)定在絕壓 50 Pa 左右。

 

        在對(duì)壓力變送器進(jìn)行測(cè)量誤差項(xiàng)目的校準(zhǔn)時(shí)，依據(jù) JJG 882-2004 中 6.2.3.3 條的規(guī)定進(jìn)行操作：檢定前，用改變輸入壓力的辦法對(duì)輸出下限值和上限值進(jìn)行調(diào)整，使其與理論的下限值和上限值一致。一般可以通過調(diào)整“零點(diǎn)”和“滿量程”來完成。由于設(shè)備的局限性，日常檢定校準(zhǔn)工作中，只能以50 kPa 真空度作為絕壓零位對(duì)絕壓變送器進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整。在對(duì)一系列不同量程的絕壓變送器調(diào)整過程中發(fā)現(xiàn)：按照同樣方法調(diào)校大量程絕壓變送器（一般指絕壓變送器量程大于大氣壓）#終測(cè)量誤差滿足準(zhǔn)確度要求，線性合乎標(biāo)準(zhǔn)。但是對(duì)于小量程絕壓變送器（一般指絕壓變送器量程小于大氣壓），其線性與準(zhǔn)確度往往不符合要求。分析原因可以發(fā)現(xiàn)，對(duì)于大量程絕壓變送器，如對(duì)準(zhǔn)確度等級(jí) 0.1 級(jí)、測(cè)量范圍 0~100 kPa 的絕壓變送器進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)，當(dāng)系統(tǒng)抽到真空 50 Pa 時(shí)，此時(shí)該絕壓變送器理論輸出電流為 4.008 mA，如以此為絕壓零位，將絕壓變送器輸出值調(diào)整為 4 mA，再加壓至絕壓 100 kPa，將輸出值調(diào)整為 20 mA。調(diào)校成功后依據(jù)檢定規(guī)程對(duì)其輸出值進(jìn)行校準(zhǔn)，發(fā)現(xiàn)測(cè)量誤差和線性均符合要求。分析可知，對(duì)于 0.1 級(jí)，測(cè)量范圍為 0 ~ 100 kPa、輸出值為 4 ~ 20 mA 的絕壓變送器，其輸出的#大允許誤差為 0.016 mA。

 

        在使用真空系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整時(shí)，舍去的 0.008 mA在其誤差允許范圍內(nèi)，因此，以絕壓 50 Pa 為絕壓零位調(diào)零，不會(huì)對(duì)其線性產(chǎn)生影響。但是，對(duì)于小量程絕壓變送器，如對(duì)準(zhǔn)確度等級(jí) 0.1 級(jí)、測(cè)量范圍為 0 ~ 40 kPa abs 的絕壓變送器進(jìn)行檢定時(shí)，當(dāng)壓力穩(wěn)定在絕壓 50 Pa 時(shí)，絕壓變送器理論輸出值為4.020 mA，該電流值大于絕壓變送器的#大允許誤差值 0.016 mA。因此，調(diào)零舍去的電流值會(huì)對(duì)其測(cè)量誤差造成影響，導(dǎo)致絕壓變送器測(cè)量誤差超差。另外，JJG 882-2004 中 6.2.3.3 條規(guī)定，絕壓變送器的零點(diǎn)覺對(duì)壓力應(yīng)盡可能小，由此引起的誤差應(yīng)不超過允許誤差的 1/20~1/10。對(duì)于 4 ~ 20 mA 輸出的 0.1 級(jí)絕壓變送器，其允許誤差為 ±0.016 mA，按照該條規(guī)定，零點(diǎn)覺對(duì)壓力引起的誤差應(yīng)不超過±（0.000 8~0.001 6）mA，而對(duì)于目前實(shí)驗(yàn)室使用的校準(zhǔn)系統(tǒng)，其 50 Pa 的極限真空度所引起的誤差已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了規(guī)程規(guī)定的絕壓變送器的零點(diǎn)覺對(duì)壓力誤差要求。因此，想要使用該系統(tǒng)對(duì)絕壓變送器零點(diǎn)調(diào)整，必須進(jìn)行改進(jìn)。

 

3　解決辦法

        為保證絕壓變送器的零點(diǎn)覺對(duì)壓力盡可能小，一種方法是使用真空泵對(duì)變送器進(jìn)行直接抽壓，如圖 3 所示

        該方法可以避免氣路過長(zhǎng)和控制器等產(chǎn)生的泄露對(duì)機(jī)械泵真空度的影響，使用機(jī)械泵對(duì)絕壓變送器直接抽壓。輸出電流恒定不變時(shí)，可認(rèn)為此時(shí)壓力穩(wěn)定在了真空泵的極限壓力處，可以進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整。該方法避免了系統(tǒng)不必要的泄漏對(duì)真空度的影響，但由于系統(tǒng)連接管路細(xì)且短，其真空度難以穩(wěn)定，且無法顯示系統(tǒng)實(shí)時(shí)真空值，因此，實(shí)際校準(zhǔn)過程中無法使用該方法。

 

        為了保證系統(tǒng)可以穩(wěn)定在較小的真空度并可以實(shí)時(shí)顯示，在結(jié)合真空校準(zhǔn)的基礎(chǔ)上，提出使用“分子泵 - 機(jī)械泵”雙級(jí)泵真空系統(tǒng)來實(shí)驗(yàn)絕壓變送器的零點(diǎn)調(diào)整與低值讀取。具體設(shè)計(jì)原理如圖 4 所示。

        被檢絕壓變送器安裝完畢后，進(jìn)行抽真空操作，開啟機(jī)械泵及相應(yīng)閥門，低真空計(jì)顯示 20 Pa 以下后，打開電磁閥，啟動(dòng)分子泵；低真空計(jì)顯示 0.1 Pa 以下時(shí)開啟高真空計(jì)查看真空度； 該設(shè)備結(jié)合真空計(jì)量的方法，可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械泵與分子泵的轉(zhuǎn)換，并實(shí)時(shí)顯示系統(tǒng)真空度，采用薄膜真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn)器，可以通過校準(zhǔn)溯源至真空標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)而完成低真空度下絕壓變送器的零點(diǎn)調(diào)整。

 

4　結(jié)語

        絕壓變送器在實(shí)際使用過程中，由于環(huán)境因素、人為因素等影響，往往會(huì)產(chǎn)生零點(diǎn)漂移。因此，當(dāng)絕壓變送器送至實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)，常常需要零點(diǎn)調(diào)整。本文在目前使用的壓力變送器校準(zhǔn)裝置基礎(chǔ)上，分析了不同量程下絕壓變送器因零點(diǎn)調(diào)整產(chǎn)生的線性誤差影響。#后針對(duì)小量程絕壓變送器，提出了一種使用“分子泵 - 機(jī)械泵”雙級(jí)泵真空系統(tǒng)來進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整的方法，取得了較好的實(shí)驗(yàn)效果。